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单面研磨机

DM360-4A

  • 外形尺寸:2360× 1 700× 274 0mm
  • 设备重量:约4300kg

本机主要用于砷化镓、硅片、碳化硅、蓝宝石片、锗片、铌酸锂、玻璃等硬脆材料,平行平面的单面高精高效率抛光。该机采用触摸界面及PLC 控制。为用户提供开放式的图形操控界面, 充分发挥机械硬件性能;该机主传动具有传动链短、稳定可靠等特点:四个PP头压力单独控制,单独驱动, 下盘采用循化冷却水强制冷却, 温度控制精确。

设备特点

  1. 主轴系统位于设备的下方, 由电机通过窄V带拖动, 采用最短的传动链保证了其运转精度,下盘采用高精度轴承定位支撑,运转刚度和精度都得到了良好的保障, 下盘轴下部装有旋转接头, 用于下盘内通冷却水, 下盘冷却水流量可通过电动阀比例调节。

  2. PP抛光头位于设备的上部, P P头的升降及加压由气缸实现, 四个P P头的升降及加压均单独控制; P P头可主动旋转, 单独控制; PP头具备真空吸附功能, 可将陶瓷盘快速提起;

  3. 在设备的上部箱体正面设有主操作面板, 可进行参数设定, 运行监控等功能, 在上箱体的两个侧面分别设有小操纵板用于四个P P 头的升降操作;

  4. 抛光液、冷却水、清洗水及气路等从设备的后部引入;

  5. 在下盘的外侧设有可滑动的防护罩, 可防止工作液的飞溅, 减少有害气体的溢出。


设备规格

名称

规格

备注

  • 下盘

    直径

    ∅914mm

  • 材料

    SUS410

  • 转速

    1 -90rpm

  • 驱动电机

    11KW

  • 上盘

    直径

    ∅360mm

  • 材料

    SUS304或SUS316L

  • 转速

    1 -90rpm

  • 驱动电机

    0.4kw

  • 压力

    0- 300kg

  • 最大加工直径

    ∅ 300mm( 或对角)

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